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熱絲金剛石設備

熱絲金剛石設備


一、產品概述

1、適用范圍:適合于各單位實驗室、高等院校實驗室、教學等的項目科研、產品中試之用。

2、產品優點及特點:設備采用熱絲化學氣相沉積技術,已應用于國內多家用熱絲法生產金剛石的生產線上。該設備已生產出大尺寸片狀多晶金剛石厚膜,填補了國內空白,并獲得了非常可觀的經濟效益。該系列設備適合于工業化生產也非常適合于科研、教學和產品中試之用。

3、主要用途:用于生長毫米級金剛石厚膜、金剛石薄膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削刀具、鉆頭、絲錐等表面沉積納米金剛石薄膜、微晶金剛石薄膜。也可制備摻硼金剛石電極、BBD電極、金剛石電極薄膜等。

 

二、技術參數

型號HF600
真空腔室結構立式前開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷
真空腔室尺寸Φ600×H500mm
基片臺尺寸Φ200mm
襯底溫度600~1100℃
電源DC
控制方式PC+PLC+觸摸屏控制
占地面積主機L1620×W1060×H1900mm
總功率≥43KW


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